超高真空微型光柵尺-SMG26係列 超高真空光柵尺SMG26係列-微型光柵特點: 光柵尺體積小,結構緊湊;適用於超高真空使用;良好的耐高溫性,高可達100°C;精度高,精度±3μm(20°C);采用玻璃柵尺,膨脹係數小,讀數穩定性良 ...