法蘭和穿通法蘭
法蘭和穿通法蘭，真空Feedthrough又稱“穿通密封件，是一種可將電功率、電訊號等信息在大氣側與真空室內部聯通的密封裝置。 本產品性能穩定，可通過CF、KF及焊接等多種方式連接。其在高真空及高真空環境下，具有良好的氣密性及電參數。
| 真空饋通法蘭參數 | |
| 氣密性 | 漏率 < 1×10-9mbar·l/s |
| 連接方式 | CF/KF法蘭連接 |
| 額定電壓 | 500V DC |
| 額定電流 | 5 A per pin |
| 絕緣電阻 | ＞1000MΩ |
| 引腳數 | 9/15/25/37/50 |
| 導體直徑 | 1mm |
| 溫度範圍 | -50℃至150℃ |
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