壓電納米位移台

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壓電納米位移台

壓電陶瓷電機是最近20年發展起來的新技術。使用壓電陶瓷電機的定位產品,結構簡單,尺寸緊湊,可以在數十毫米範圍內實現納米級別的最小步長,從而解決了傳統納米台行程不足,而微米電動台分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內研發出能產品化的壓電陶瓷電機線性位移平台和旋轉台等超精密位移產品,性能指標達到國際先進水平,填補了此領域的國產產品空白。可廣泛應用於半導體芯片、光通訊、生物醫療、電子顯微、先進製造、科學研究等領域。
SEM納米探針台

SEM納米探針台

SEM納米探針台實現了三維空間上的精確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應用於在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。
壓電多軸納米位移台

壓電多軸納米位移台

壓電多軸納米位移台,多個納米位移平台組合而成的多軸運動和定位產品,包括2軸,3軸、4軸、5軸等,形式多樣,可根據需求定製。
壓電旋轉納米位移台

壓電旋轉納米位移台

壓電旋轉納米位移台,可以360度旋轉平麵,由高分辨率壓電馬達驅動。提供開環和閉環版本。
壓電直線納米位移台

壓電直線納米位移台

直線運動納米壓電馬達位移平台提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規格的標準化產品,移動分辨率最小可達0.05nm。提供開環和閉環控製版本、大氣和真空兼容版本。