SEM納米探針台
SEM納米探針台產品實現了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優點，可應於SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。
SEM納米探針台產品使用壓電陶瓷驅動，運無需潤滑，真空兼容，並可在很廣的溫度範圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程範圍內達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針台由三個單軸運動台組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針台。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。
SEM納米探針台特點：
結構緊湊，高剛性。
壓電陶瓷位移平台具有很長的使用壽命。
內部根據需求可增加位置反饋。
應用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。
適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等。
SEM納米探針台技術參數
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